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多晶硅烧结炉技术特点

多晶硅烧结炉技术特点

台车工作面上铺设碳化硅炉板,保护底部加热元件。

台车采用一体化路轨或无轨式(根据用户要求)。

炉膛两侧配置冷却风机,顶部开排气通道,有效地提高冷却速度。

用户可根据热处理工艺任意编辑曲线,操作简单。